檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Shyankay Jou".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="電漿氧化"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究以Al與Al(Cu 5wt%)靶材濺鍍沉積下電極層,以RF與MW電漿氧化的方式成長電阻層,上電極皆以Al濺鍍,製成Al/AlOx/Al、Al/AlOx+CuOx/Al(Cu 5wt%)三層結構…
2
本論文使用磁控式濺鍍系統沈積為薄膜生成的主要製程,結合製程技術快速且低氧化溫度之電漿氧化製程,製備本實驗所需之太陽能選擇性吸收膜,並探討其吸收膜之光學性質及結晶結構。第一部份實驗為沈積一層Cu薄膜在…